Im Jahr 1941 gab es in den Konzentrationslagern noch keine Vorrichtungen für Massenmorde. Die ab August 1941 nicht mehr ausgelasteten Tötungsanstalten der »Aktion T4« ermöglichten erstmals eine massenhafte Ermordung der »nicht mehr arbeitsfähigen« Häftlinge und wurden so Vorbild für die Einrichtung der Vernichtungslager. Für die Bezeichnung der Selektion und Ermordung nicht mehr arbeitsfähiger KZ-Häftlinge wurde die Formel »Sonderbehandlung 14f13« gewählt. »Sonderbehandlung« stand synonym für Tötung bzw. Exekution, »14« war die Kennziffer des Inspekteurs der Konzentrationslager, »f« war das Kürzel für »Todesfälle«, und die Ziffer »13« stand für die Todesart, in diesem Fall die Vergasung.

Die Lagerleitung traf eine Auswahl der Häftlinge, die in den Lagern von einer Ärztekommission in Augenschein genommen und selektiert wurden. Hierbei handelte es sich um erfahrene »T4«-Gutachter. Die erste bekannte Selektion fand im April 1941 im Lager Sachsenhausen statt. Bis zum Sommer 1941 wurden mindestens 400 Sachsenhausen-Häftlinge »ausgemustert«. Im gleichen Zeitraum wurden 450 Häftlinge aus Buchenwald und 575 aus Auschwitz in der Tötungsanstalt Pirna-Sonnenstein vergast. Nach dem offiziellen Ende der »Aktion T4« beteiligte sich Pirna-Sonnenstein nicht mehr an der »Sonderbehandlung 14f13«. Häftlinge aus den Lagern Buchenwald, Ravensbrück und Groß-Rosen wurden ab diesem Zeitpunkt in der Tötungsanstalt Bernburg vergast. Die meisten Opfer der »Sonderbehandlung 14f13« gab es in der Tötungsanstalt Hartheim. Dort wurden mehrere tausend Häftlinge aus den Lagern Mauthausen, Dachau und Gusen mit Kohlenmonoxid ermordet.

Im April 1944 wurde die »Sonderbehandlung 14f13« ausgeweitet. Es bedurfte keiner Ärztekommission mehr, stattdessen entschied der Lagerarzt selbst über den Mord durch Vergasung. Die Häftlinge wurden nicht mehr nur in die Tötungsanstalten verlegt, sondern nun auch in andere Lager, die mittlerweile über eigene Gaskammern verfügten (etwa Mauthausen, Sachsenhausen, Auschwitz). In der Tötungsanstalt Hartheim wurden nun auch osteuropäische Zwangsarbeiter, Kriegsgefangene und ungarische Juden vergast. Die »Sonderbehandlung 14f13« endete mit der letzten Verlegung nach Hartheim im Dezember 1944.